20世纪初，就有人提出了利用超声原理测量流速的方法。20世纪50年代末，苏联学者比尔蓋尔(HIBirger)发展了管道流速分布理论，提出了断面流速修正系数概念。1955年美国人利用"声循环法"(sing-around)原理，研制出 MAXSONFLOWMETER 超声流量计，用来计量航空煤油，使超声液体流量计逐步进入实用化。
超声波流量计的发展史可以追溯到20世纪50年代，当时科学家们开始研究如何利用超声波来测量流体的流速。
1970年，第一个商用的超声波流量计在美国诞生，这标志着超声波流量计开始进入实用阶段。
在1980年代，随着微处理器技术的发展，超声波流量计的精度和稳定性得到了大幅提升。
1990年代，超声波流量计开始广泛应用于石油、化工、水处理等各个领域。
进入21世纪，随着数字化和智能化技术的发展，超声波流量计的性能和功能得到了进一步的提升，例如，现在的超声波流量计不仅可以测量流体的流速，还可以测量流体的温度、压力等参数。
我国从20世纪60年代起，先后展开研制工作。80年代以后，国内外产品的品种、数量不断增加。尤其最近十多年来，随着CPU技术、信号处理技术、通讯技术的发展，欧、美、日、韩各国在基础理论研究和产品发展以及应用上日新月异。特别是多声道(3-5声道)时差法超声测流技术的出现，使超声流量计的测量准确度和可靠性有了明显的提高。多声道时差法超声流量计已经实现了对天然气、成品油、原油的商业计量。目前各种超声流量计已广泛用于工业生产、商业计量和水利检测等方面，如:在市政行业的原水、自来水、中水、污水的计量中，超声流量计具有大量程比、无压损的特点，在保证测量准确度的同时提高了管网的输水效率;在水利水电行业的输水管道、渠道、泵站、电站的流量计量中，超声流量计具有大口径、现场安装、在线标定的特点，使准确测量成为可能。同时通过对水泵、水轮机单泵、单机的计量来实现设备优化、经济运行的目的:在工业冷却循环水的计量中,超声流量计实现了在线不断流带压安装和在线标定;在商业计量方面多声道超声流量计已达到优于0.5%的准确度(示值误差)。而且，利用多声道超声流量计的测量结果与被测介质的物理性能无关的特点,在一条管线多种油品输送的计量中,保证计量准确的同时，通过声速鉴别出不同油品的密度来实现油品混合界面的准确测量。还可利用超声流量计双向计量的特点，在装卸计量中一台仪表实现双向计量，体现出诸多方面的优势。多声道超声流量计是最具有开发潜力和发展前景的流量计。超声波流量计的发展史是一部科技进步的历史，它的出现极大地推动了工业生产的发展。